质量流量控制器

什么是质量流量计？什么质量控制器？

       质量流量计（Mass Flow  Meter） MFM,是一种测量气体流量的仪表，测量值是不因为环境压力和温度的变化而改变，不需要温度压力的补偿。质量流量计只是测量不控制。

       质量流量控制器（Mass Flow controller） MFC,是一种直接测量气体的质量流量并且进行流量控制的仪表设备，不因为环境温度和使用压力的变化而改变，不但具有测量质量的功能，更重要的它可以自动控制气体流量，用户可以根据需要进行流量设定，带控制阀门，既可以测量也可以控制气体流量的大小。