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质量流量控制器

发布时间:2019-04-30    浏览量:40
  1. 什么是质量流量计?什么质量控制器?

          质量流量计(Mass Flow  Meter) MFM,是一种测量气体流量的仪表,测量值是不因为环境压力和温度的变化而改变,不需要温度压力的补偿。质量流量计只是测量不控制。

            质量流量控制器(Mass Flow controller) MFC,是一种直接测量气体的质量流量并且进行流量控制的仪表设备,不因为环境温度和使用压力的变化而改变,不但具有测量质量的功能,更重要的它可以自动控制气体流量,用户可以根据需要进行流量设定,带控制阀门,既可以测量也可以控制气体流量的大小。