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气体流量计/控制器HFM-301/HFC-303
气体流量计/控制器HFM-301/HFC-303
| HFM-301气体流量计 | HFC-303气体流量控制器 | |
| 范围（用户可选） | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) |
| 精度 | 满量程的+ 1% | 满量程的+ 1% |
| 重复性 | 满量程的+ 0.7% | 满量程的+ 0.7% |
| 最大工作压力 | 500 PSIG (可选1500 PSIG) | 500 PSIG (可选1000 PSIG) |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 |
| 密封材质 | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 接口选项 | 面板安装, VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹, NPT | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹, NPT |
| 电气连接 | D型15针 | D型15针 |
| 电源 | + 15 VDC @ 55 mA | + 15 VDC @ 150 mA |
| 湿液材质 | 316L SS, Nickel 200, 302 SS | 316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (阀座), 特氟龙 |