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气体流量计/控制器HFM-300/HFC-302
气体流量计/控制器HFM-300/HFC-302
| HFM-300气体流量计 | HFC-302气体流量控制器 | |
| 范围（用户可选） | 0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2) | 0 - 10 sccm to 0 - 25 slm (N2) |
| 精度 | 满量程的+ 0.75% 5 sccm to 10 slm 满量程的+ 1.00% 10 slm to 25 slm | 满量程的+ 0.75% 5 sccm to 10 slm 满量程的+ 1.00% 10 slm to 25 slm |
| 重复性 | 满量程的+ 0.07% | 满量程的+ 0.07% |
| 最大工作压力 | 500 PSIG (可选1000 PSIG) | 500 PSIG (可选1000 PSIG) |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 |
| 接口选项 | Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹 | Surface Mount, VCR®, VCO®, Swagelok®,直螺纹 |
| 电气连接 | D型15针 | D型15针 |
| 电源 | +15 VDC @ 55 mA | +15 VDC @ 55 mA |
| 湿液材质 | 316L SS, Nickel 200, 302 SS | 316L SS, Nickel 200, 302 SS, Kalrez® (阀座) |