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气体流量计/控制器HFM-200/HFC-202
气体流量计/控制器HFM-200/HFC-202
| HFM-200气体流量计 | HFC-202气体流量控制器 | |
| 范围（用户可选） | 0 - 10 sccm 至0 - 25 slm (N2) | 0 - 10 sccm 至 0 - 25 slm (N2) |
| 精度 | 满量程的+ 1.0% | 满量程的+ 1.0% |
| 重复性 | + 0.05% of full scale | + 0.05% of full scale |
| 最大工作压力 | 500 PSIG (可选1000 PSIG) | 500 PSIG (可选1000 PSIG) |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 |
| 接口选项 | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹 | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹 |
| 弹性密封选项 | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 电气连接 (+/- 15 VDC) 电气连接 (+24 VDC) | D型15针 D型9针 | D型15针 D型9针 |
| 电源(+/- 15 V) 电源(+24 V) | +(14 - 16) VDC @ + 30 mA (<1 W) (14-32) VDC (<1.9 W) | +(14 - 16) VDC @ + 60 mA / -185 mA (<3 W) (14-32) VDC (<4.2 W) |
| 湿液材质 | 316LSS, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder | 302 SS, 316L SS, Nickel, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder, Kalrez® (阀座) |
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D-300A系列气体流量计/控制器
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气体流量计HFM-200 LFE