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气体流量计HFM-200 LFE
气体流量计HFM-200 LFE
| HFM-200 LFE气体流量计 | |
| 范围（用户可选） | 0 - 10 sccm to 0 - 15,000 slm (N2) |
| 精度 | + 1.0% of full scale |
| 重复性 | + 0.05% of full scale |
| 最大工作压力 | 对于法兰型层流元件：150 PSIG 对于螺纹型或光杆型层流元件：500 PSIG 对于传感器部分：500 PSIG |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA, 0 - 20 mA |
| 接口选项，传感器： 接口选项， LFE： | 1/4" Elbow 光杆，螺纹，法兰（取决于流速） |
| 弹性密封选项 | Viton®, Kalrez, Buna-N, Neoprene |
| 电气连接 (+/- 15 VDC) 电气连接 (+24 VDC) | D型15针 D型9针 |
| 电源(+/- 15 V) 电源(+24 V) | + (14 - 16) VDC @ +30 mA (<1 W) (14 - 32) VDC (<1.9 W) |
| 湿液材质 | 316SS, Viton®, 87/13 Au/Ni Braze |