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气体流量计/控制器HFM-201/HFC-203
气体流量计/控制器HFM-201/HFC-203
| HFM-201气体流量计 | HFC-203 气体流量控制器 | |
| 范围（用户可选） | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) | (L): 0 - 25 slm to 0 - 500 slm (N2) (H): 0 - 500 slm to 0 - 1000 slm (N2) |
| 精度 | 满量程的+ 1% | 满量程的+ 1% |
| 重复性 | 满量程的+ 0.05% | 满量程的+ 0.05% |
| 最大工作压力 | 500 PSIG (可选1000 PSIG) | 500 PSIG (可选1000 PSIG) |
| 模拟量输入/输出 (标准) | 0 - 5 VDC | 0 - 5 VDC |
| 模拟量输入/输出 (可选) | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 | 4 - 20 mA输入和输出, 0 - 20 mA, 0 - 5 VDC输入/ 4 - 20 mA输出 |
| 接口选项 | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹, NPT | VCR®, VCO®, Swagelok®, 直螺纹, NPT |
| 电气连接 (+/- 15 VDC) 电气连接 (+24 VDC) | D型15针 D型9针 | D型15针 D型9针 |
| 电源(+/- 15 V) 电源(+24 V) | + (14 - 16) VDC @ +30 mA (<1 W) (14 - 32) VDC (<1.9 W) | + (14 - 16) VDC @ +60 mA / -185 mA (<3 W) (14 - 32) VDC (<4.2 W) |
| 湿液材质 | 316L SS, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder | 302 SS, 316 SS, Nickel, Viton®, 82/18 Au/Ni Braze, Trace Ag Solder, Kalrez® (阀座) |
上一个：
气体流量计HFM-200 LFE